Litografia ultravioletta estrema: differenze tra le versioni
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[[File:EUV_photoelectrons_and_secondaries_(vector).svg|thumb|right|Immagine del meccanismo di formazione della litografia EUV. In cima: Multistrato EUV e assorbitore (viola) costituente una maschera pattern per il disegno di una linea. Sotto: Radiazione EUV (rosso) riflesso dalla maschera di pattern che è assorbito nella "resistenza" (giallo) e nel substrato (marrone), producendo fotoelettroni ed elettroni secondari (blu). Questi elettroni incrementano la portata delle reazioni chimiche nella resistenza.]]
La '''Litografia ultravioletta estrema''' o '''EUV''' o '''EUVL''' acronimi inglesi per '''Extreme ultraviolet lithography''' è una tecnologia di prossima generazione di [[litografia]] usando lunghezze d'onda nell'ultravioletto estremo (EUV), attualmente atteso per i 13,
== Esposizione alla fotoresistenza ==
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== Voci correlate ==
*[[patterning multiplo]]
*[[Litografia (elettronica)
== Collegamenti esterni ==
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