Litografia (elettronica): differenze tra le versioni

La '''litografia''' (chiamata anche '''litografia ottica''' o '''fotolitografia''', definizione quest'ultima che crea però un'ambiguità con l'[[Fotolitografia|omonima tecnica di stampa delle immagini fotografiche]]) è un processo di [[fabbricazione dei dispositivi a semiconduttore|fabbricazione di dispositivi a semiconduttore]], che include tutti i processi che sagomano o alterano le forme preesistenti sul materiale depositato. La regione non esposta viene rimossa dalla soluzione di sviluppo. Dopo l'etching ed altri possibili processi, il restante photoresist viene rimosso a secco mediante incenerimento in [[plasma (fisica)|plasma]] (dall'inglese ''plasma ashing'') o più semplicemente dissolvendolo in un opportuno solvente.