Litografia (elettronica)

(Reindirizzamento da Fotolitografia)

La litografia è un processo di fabbricazione di dispositivi a semiconduttore, che include tutti i processi che sagomano o alterano le forme preesistenti sul materiale depositato. Per esempio, nella litografia convenzionale, il wafer viene ricoperto tramite rivestimento per rotazione con una sostanza chimica fotosensibile detta photoresist. Il photoresist viene esposto mediante delle macchine opportune, dette mask-aligner o stepper, che allineano delle maschere (in genere di quarzo), focalizzano la radiazione ed espongono il photoresist ad una radiazione ultravioletta di lunghezza d'onda opportuna. La regione non esposta viene rimossa dalla soluzione di sviluppo. Dopo l'etching ed altri possibili processi, il restante photoresist viene rimosso a secco mediante incenerimento in plasma (dall'inglese plasma ashing) o più semplicemente dissolvendolo in un opportuno solvente.

Processo di fabbricazioneModifica

in questa sezione vengono descritte le principali fasi di un processo litografico

Deposizione resistModifica

EsposizioneModifica

SviluppoModifica

Deposizione metalloModifica

Rimozione resistModifica

ci sono due principali metodi di rimozione del resist "wet etching" e "dry etching", il primo utilizza un bagno chimico, va quindi scelto un reagente adatto al tipo di materiale che si vuole rimuovere, mentre nel secondo il resist viene rimosso fisicamente da un bombardamento ionico, posizionando il dispositivo all'interno di un plasma, ci sono poi metodi misti in qui gli ioni che collidono si legano chimicamente al rerist.

Wet Etching Dry Etching
molto selettivo facile da iniziare e fermare
non danneggia il substrato poco sensibile alle variazioni di temperatura
economico facile ripetibilità
lento veloce
i reagenti sono potenzialmente tossici o dannosi per l'ambiente può essere isotropo o anisotropo
isotropo (a meno di casi particolari) costoso

Voci correlateModifica

Altri progettiModifica

Collegamenti esterniModifica

  Portale Fisica: accedi alle voci di Wikipedia che trattano di fisica